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ARTICLESKLA-Tencor 2135 晶圓檢測儀是一種高duan的掩模和晶圓檢測系統(tǒng),具有多種先進技術(shù)和高靈敏度成像功能。以下是其詳細(xì)規(guī)格參數(shù): 用途:主要用于圖案化晶圓的缺陷檢測,以監(jiān)控生產(chǎn)過程中的顆粒和缺陷,從而提高產(chǎn)量。 晶圓尺寸:目前配置為200毫米(8英寸)晶圓,但可以處理4英寸、5英寸和6英寸的晶圓。 吞吐量:大約為每小時8至20個晶圓。 靈敏度:能夠檢測大于0.25微米的像素。
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