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KLA-Tencor Spectra-Shape 8660 光學計量儀是一種先進的半導體晶圓測試和計量設備，主要用于精確測量半導體晶圓的特征尺寸和形狀。該系統(tǒng)采用光學技術，能夠對直徑達300毫米的晶圓進行高精度的CD（Critical Dimension）測量和形狀測量。
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